A scribing apparatus and a scribing method for forming a scribe line

스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙 장치 및 스크라이브 라인 형성 방법

  • Inventors:
  • Assignees: 세메스 주식회사
  • Publication Date: March 16, 2011
  • Publication Number: KR-101021986-B1

Abstract

본 발명은 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙 장치 및 스크라이브 라인 형성 방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 기판을 지지하는 상부 스테이지 및 하부 스테이지의 일측면에 각각 스크라이빙 유닛이 설치되며, 상부 스테이지 또는 하부 스테이지가 제1방향으로 이동하여 기판의 상면 또는 하면에 제1방향으로 스크라이브 라인을 형성한다. 그리고, 각각의 스크라이빙 유닛이 상부 스테이지 또는 하부 스테이지의 측면을 따라 제1방향에 수직한 제2방향으로 이동하여, 기판의 상면 또는 하면에 제2방향으로 스크라이브 라인을 형성한다. 기판, 상부 스테이지, 하부 스테이지, 스크라이버, 스크라이브 라인,

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Patent Citations (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2009001484-AJanuary 08, 2009Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd, 三星ダイヤモンド工業株式会社分断装置および分断方法
    KR-100699077-B1March 27, 2007(주)와이티에스Cutting apparatus of ??????? panel

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