전수합산법을 이용한 이차이온질량분석법에 의한 다성분 합금 박막의 주성분 정량 및 조성깊이분포 분석법

Quantification and in-depth compositional profiling methods for the main components of multi-component alloy films by secondary ion mass spectrometry using total number counting method

Abstract

본 발명은 화합물 박막 태양전지용 박막과 같은 다성분 합금 박막에 대하여, 전수합산법을 이용한 이차이온화질량분석법에 의하여 정량분석 및 깊이에 따른 조성분포를 분석하는 방법을 개시하는바, 이로써 합금 박막 태양전지의 이력관리를 가능케 하여 성능을 극대화할 수 있는 표준을 제공할 수 있다.

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    Title
    Journal of Surface Analysis Vol.15 No.3(2009)*
    Surface Science 253 (2007)

Cited By (1)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    KR-101502389-B1March 13, 2015한국과학기술연구원태양전지 광흡수층의 정량분석법