Method of manufacturing thin film battery

박막전지 제조방법

Abstract

본 발명은 다면체 이송챔버; 상기 이송챔버의 제 1 면을 통해 상기 이송챔버와 연통되고, 박막전지용 양극 전류집전체를 형성하는 제 1 챔버; 상기 이송챔버의 제 2 면을 통해 상기 이송챔버와 연통되고, 박막전지용 양극을 형성하는 제 2 챔버; 상기 이송챔버의 제 3 면을 통해 상기 이송챔버와 연통되고, 박막전지용 양극에 급속열처리(RTA: rapid thermal annealing)를 수행하는 제 3 챔버; 및 상기 이송챔버의 제 4 면을 통해 상기 이송챔버와 연통되는 로드락 챔버인 제 4 챔버를 포함하는 것을 특징으로 박막전지 제조장치 및 이를 이용한 박막전지 제조방법에 관한 것이다. 박막전지, 급속열처리, 인-시튜

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    KR-100268294-B1December 01, 2000포만 제프리 엘, 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션Corrosion resistant molybdenum mask
    KR-100466924-B1January 24, 2005한국과학기술원액적화학증착법을 이용한 초박막형 리튬이온 2차전지의제조방법

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle