Linear motor magnetic shield apparatus

선형 모터 자기 실드 장치

Abstract

비-자기 갭들을 갖는 자기 실드는 정밀 위치설정 시스템의 선형 모터 어레이에 대해 저감된 자기 크로스-토크를 제공한다. 누출 자속을 재지향시키는 것은 크로스-토크 및 그와 연관된 악영향들을 제한한다. 누출에 대해 이러한 바람직한 자기 회로 경로들은 선형 모터의 이동 자석 시스템에 고정된다. 바람직한 자속 누출 경로들의 실시예들은 영구 자석들과 백-아이언들 사이의 비-자기 갭에 의하여 분리되는 강자성 실드를 제공함으로써 실현된다. 또 다른 실시예에서, 강자성 실드는 반자성 재료를 포함한다.

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    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2003037047-AFebruary 07, 2003Canon Inc, キヤノン株式会社荷電粒子線露光装置、半導体デバイスの製造方法、半導体製造工場、荷電粒子線露光装置の保守方法
    JP-2003244927-AAugust 29, 2003Nikon Corp, Yaskawa Electric Corp, 株式会社ニコン, 株式会社安川電機リニアモータ及びそれを有するステージ装置

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